精密水准仪一般是指精度高于±1mm/km的水准仪，我国水准仪系列中DS₁等均属于精密水准仪。精密水准仪有微倾式、自动补偿式和数字式。精密水准仪主要用于高精度测量工程如：建筑物、构筑物、地面的沉降观测、重要工程高程控制网的布设、大型建筑物的施工和设备安装等测量工作。
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